Anwendung
Dieses hochreine, weiße, undurchsichtige Quarzmaterial wird hauptsächlich im Bereich der Wärmeblockierung, insbesondere in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie, verwendet und ist ein unverzichtbarer Bestandteil in Halbleiterfertigungsgeräten.
Eigenschaften
Dieses hochreine, weiße, undurchsichtige Quarzmaterial verfügt über eine hervorragende Oberflächenbeschaffenheit, eine hervorragende Wärmeisolationsleistung und eine Verarbeitungsleistung, die der von transparentem Quarz nahe kommt. Dadurch wird der Wärmeverlust aus der Reaktionskammer wirksam reduziert und die Lebensdauer der Heizkomponenten in den Geräten verlängert.
Typische Produktgröße (Einheit):mm
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Maximale fertige Größe |
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Länge/Außendurchmesser |
Breite |
Höhe/Dicke |
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Kern |
600 |
- |
60 |
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Quadratische Platte |
500 |
500 |
60 |
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Rechteckige Platte |
800 |
300 |
60 |
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Ring |
600 |
90 |
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Mechanische und thermische Eigenschaften
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Eigenschaften |
Artikel |
P0052E |
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Physikalische Eigenschaften |
Porosität |
0.2296% |
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Bohrungsgröße |
<20um |
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Höchste kontinuierliche Arbeitstemperatur – kurz (Grad) |
Zeit (Grad) 1300 |
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Höchste kontinuierliche Arbeitstemperatur punktlang (Grad) |
Zeit (Grad) 1150 |
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Thermische Eigenschaften |
Wärmeausdehnungskoeffizienten (K-1) |
0.47*10-6(20-320 Grad ) |
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Wärmeleitfähigkeit (20 Grad, W/m·k) |
0.845 |
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Spezifische Wärme (J·G-1·k-1) |
0.6559 |
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Elektrische Eigenschaften |
Permittivität (500 MHz, 20 Grad) |
3,8 (500 MHz, 20 Grad) |
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Dielektrischer Verlust |
0.0001 |
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Zugfestigkeit (Mpa) |
50 |
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Biegefestigkeit (Mpa) |
83 |
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Drehfestigkeit (Mpa) |
29 |
Spurenelemente (Typisch) (Einheit): ppm
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Code |
Al |
Ca |
Cu |
Fe |
K |
Li |
Mg |
N / A |
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PQ052E |
12.0 |
1.00 |
<0.05 |
0.60 |
0.50 |
0.90 |
0.30 |
1.00 |
Wellenlänge (nm)
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